پمپ اسکرول (حلزونی)
پمپ حلزونی یک دیگر از پمپهای خشک است که با حرکت یک مارپیچ حلزونی شکل درون یک مارپیچ ثابت، انتقال سیال را میسر می‌سازد. این مارپیچ ها هوا را با فشرده سازی از پمپ خارج می‌سازند. این فشرده سازی تولید گرمای زیاد می‌نماید که توسط فن خنک می‌شود. فشار نهایی وکیوم پمپ اسکرول به خلاء 0.01 میلی بار میرسد. از این پمپ به عنوان پمپ وکیوم پشتیبان (Backing Pump) با پمپ دیفیوژن ، توربومولکولار و روتس بوستر سری نمود.
